תהליך השיקוע
תהליך שיקוע פארילן
כיצד משוקע ציפוי פארילן?
שכבות הפארילן הדקות גדלות על משטח בתא השיקוע בטמפרטורת החדר, מולקולה אחר מולקולה, בדומה לשיקוע של אדים. הבנת תהליך השיקוע (או הריבוץ) על בוריו, מסייע לנו להבין את יכולתו של הפארילן, ואיך הוא יכול לשמש להשגת פתרונות ייחודיים.
תהליך כימי - CVD
פארילן מושג באמצעות תהליך בן שלושה שלבים הנערך בתוך מערכת וואקום ייעודית. תהליך זה נקרא – CVD, בתהליך זה משוקע הפארילן מולקולה אחר מולקולה על חלקי מצע המוצבים בתא השיקוע. טכנולוגיה זו מייצרת ציפוי אחיד במיוחד המכסה באופן שווה ואחיד גם חריצים, סדקים, פערים, חורים, ואפילו קצוות חדים. תהליך הציפוי מולקולה אחר מולקולה מאפשרת שליטה בעובי שכבת הציפוי, החל מעובי של מאות יחידות אנגסטרום ועד למאה מיקרון. ראה: ציפוי פארילן – Parylene Coating
שלבי תהליך שיקוע פארילן - Parylene Deposition Process
- שלב ראשון: חלקי משטח מקובעים אל תוך תא השיקוע המשמש לציפוי. הפארילן המוצק (דימר) המגיע במצב מוצק – (אבקה) – נטען לתא הנידוף, שם הוא מחומם עד שהוא מתאדה והופך לגז.
- שלב שני: אדי הדימר מוזרמים אל תוך תנור פירוליזה (תנור לפירוק כימי) המחמם את הגז לחום של כ – 700 מעלות וגורם לו לפיצוח והופך אותו למונומר (מולקולה בודדת).
- שלב שלישי: בשלב אחרון זה מוכנסים אדי המונומר אל תוך תא שיקוע המחומם לטמפרטורת חדר, כשהם מגורים מאוד לפעולה. בתא הזה מקובעים כל המשטחים והמצעים המיועדים לציפוי, וכאן המונומרים הבודדים מוצאים מנומרים נוספים ומתפלמרים על פני כל מצע הנמצא בתא. התהליך הזה יוצר ציפוי דק וקונפורמי במיוחד.
- סובלימציה – דימר – 150-175° צלזיוס – תא אדים
- פירוליזה (פירוק כימי) – מונומר – 650-690° צלזיוס – תנור פירוליזה
- שיקוע – פולימר – טמפרטורת חדר – ואקום 20-30 mTor – תא ציפוי
- שאיבה & לכידה קרה – מלכודת קור – לכידת עודפי הפארילן בתום תהליך השיקוע
- שאיבת אדים – מפנה את האוויר ואת הגזים מתא הציפוי, ומאפשרת את שיקוע הפארילן
ציפוי קונפורמי לחלוטין
ציפויי פארילן המתבצעים בוואקום ובנידוף הם ציפויים קונפורמיים לחלוטין המצליחים להגיע אל משטחים שלא ניתן להגיע אליהם באמצעות ציפוי נוזלי. הליך השיקוע של הפארילן מייצר שכבה דקה הגדלה בצורה אחידה על המצע המבוקש, מולקולה אחר מולקולה, אחת בכל פעם. ציפויים קונפורמיים נוזליים המושגים באמצעות ריסוס או באמצעות הטבלה, נוטים להתאסף ולהצטבר בחריצים נמוכים ולהימשך הרחק מקצוות מוגבהים ומנקודות חדות. היווצרות של בועות, סדקים, חורים וגבשושיות דמויות קליפת תפוז הן תופעות אופייניות ונפוצות בציפויים נוזליים.
